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第78章 理论准备晶圆加工的技术链（第4页）

既然江阳说出来，至少理论上，已经没有太大的问题。

所以他们要做的，就是事无巨细地將每一个字记下来。

然后再去慢慢实验。

会议一直持续到晚上。

才终於结束。

除了j5060碳化硅砂轮切片机外。

江阳在后面。

还提到化学机械拋光设备、光刻设备和真空镀膜等设备的问题。

这些设备，华国基本都没有。

好在替代的方案，也能满足现有的研究需求。

就是需要牺牲一点质量。

比如化学拋光设备，就可以通过机械拋光+化学腐蚀来替代。

不过对於光刻机。

江阳提出了不一样的要求。

他在最后，道：

“光刻机，是半导体领域的核心设备。”

“它直接决定集成电路的製程工艺和性能机械。”

“所以我建议，成立一个光刻机攻关小组，进行自主设计工作。”

听到这话。

王寿吾、林嵐因和黄琨三人，当即表示赞同。

其他人自然更不可能有意见。

不过他们等了半天。

都没等到后续。

这让黄琨忍不住，道：

“江教授，图呢？”

以往江阳说完。

一般都会给出设计草图，哪怕並不完善。

这回，不应该例外才对。

江阳疑惑道：

“什么图？”

黄琨：

二